実験装置

平面研削盤
黒田精工(株)　GS-62Z

圧電型切削動力計
Kistler

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卓上型5軸研削盤
リニアガイド：THK(株)　HSRシリーズ
リニアモータ：日本パルスモーター(株)　シャフトモーターシリーズ
ACサーボモータ：(株)ハーモニックドライブシステムズ　SHAシリーズ

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固定砥粒研磨機
スピンドル：(株)ナカニシ　EMS-3060K
直動軸：中央精機(株)　LSシリーズ

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測定装置

表面粗さ計
(株)東京精密　HANDYSURF+35

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二次元高精細レーザ変位計
(株)キーエンス　LJ-G5000

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実体顕微鏡
CarlZeiss　Stemi305

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