Research

モータは産業機器や自動車分野で広く用いられており, 特に産業機器においてはモータの高速高精度な位置制御が要求されています. 従来研究としてハードディスクドライブの磁気ヘッドの位置制御, レーザ加工機向けガルバノスキャナの位置制御, 産業用ロボットの制御および半導体製造装置のステージ制御に取り組んできました. 本研究室では各種産業機器で用いられるモータの位置決め制御に関する研究を進めています.

キヤノン ガルバノスキャナ alt

多摩川精機 ACサーボモータ alt

実験室 alt

光学評価実験室

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